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半導(dǎo)體零部件之閥門行業(yè)研究:國產(chǎn)替代方興未艾

發(fā)布時間:2023-12-22 09:30:14 點擊次數(shù):12720 次

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(報告出品方/作者:興業(yè)證券,李雙亮、王佩麟)

1.1、真空閥:真空系統(tǒng)核心零部件,主要起隔離/控制/傳輸作用

真空的通俗定義指的是空間中的壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力時的狀態(tài)。 真空閥指的是用在真空系統(tǒng)中的閥門,其作用通常為隔離真空區(qū)域(如工藝腔室) 或控制氣體進(jìn)出量。由于真空環(huán)境基本貫穿半導(dǎo)體制造過程始終,因此真空閥在 半導(dǎo)體設(shè)備中也有著普遍而廣泛的應(yīng)用。 真空閥和普通閥門在類型上沒有本質(zhì)區(qū)別,按作用劃分主要有隔離閥、控制閥 (調(diào)節(jié)閥)、傳輸閥、泄壓閥/排氣閥、氣體計量閥、止回閥等,在半導(dǎo)體設(shè)備的 真空系統(tǒng)中尤其是隔離閥、控制閥、傳輸閥應(yīng)用較多;其中,隔離閥和控制閥根 據(jù)工作方式又包括閘閥、角閥、蝶閥、球閥、擺閥等。

具體來看,隔離閥起隔絕/接通作用,如可用于連接真空泵,在其運作與否時起 到禁止/允許氣體進(jìn)入真空泵系統(tǒng)的作用;控制閥主要起到控制氣體流量和壓力 的作用;傳輸閥則可用于晶圓在腔體之間或腔體和 Load Lock 之間的傳輸。




從實際應(yīng)用來看,隔離閥采用最多的主要為角閥和閘閥。 閘閥的啟閉件為閘板,閘板運動方向與介質(zhì)流動方向垂直,通過閘板的升降可以 起到隔絕/接通作用,通常只作全開/全閉狀態(tài),是隔離閥的理想選擇,而較少用 作控制作用。閘閥可用于腔體和真空泵之間。

角閥的氣體通路通常呈直角,主要可用于真空系統(tǒng)中的排氣管路和抽氣系統(tǒng)等的 連接,如用于主泵(通常為分子泵)和前級泵(通常為干泵)之間(即前級管路) 或腔體和前級泵之間(即粗抽或預(yù)真空管路)。角閥常作為隔離閥,尤其適用于 嚴(yán)苛的環(huán)境下,并具有出色的可靠性,也可具備控制作用。

控制閥用在真空腔體和分子泵之間,起到調(diào)節(jié)流量和壓力的作用??刂崎y采用最 多的主要為擺閥(鐘擺閥),而蝶閥等也可以起到控制作用。 擺閥的啟閉件通過如鐘擺般的旋轉(zhuǎn)運動來實現(xiàn)隔離和控制作用,具有設(shè)計緊湊、 振動小、啟閉平穩(wěn)、能有效避免產(chǎn)生顆粒的特點,被廣泛用作控制閥。




蝶閥的閥瓣呈圓盤形,圍繞其中軸旋轉(zhuǎn),旋角大小便是閥門的開閉度,既可作為 隔離閥,提供與閘閥同樣可靠的真空隔離的同時對占用空間要求較低,適用于緊 湊空間的隔離;又可作為控制閥,實現(xiàn)快速精確的調(diào)節(jié)。

此外,球閥的啟閉件是帶有圓形通道的球體,繞垂直于通道的軸線旋轉(zhuǎn),球體隨 閥桿轉(zhuǎn)動從而達(dá)到啟閉通道的目的。球閥適用的壓力范圍廣,從高真空到低真空 等均可使用,同時在帶有腐蝕性介質(zhì)的或者高溫的系統(tǒng)中也均可適用。

傳輸閥是用于連接真空腔室的長方形截面的閥門,可將物體(如晶圓)從一個腔 室傳送到另一個腔室,尤其是在傳輸腔和工藝腔之間需要用到,因此傳輸閥是多 腔室系統(tǒng)的理想選擇。

1.2、真空閥要求嚴(yán)苛,瑞士 VAT 主導(dǎo)市場

真空系統(tǒng)包括各種不同的零部件,如腔體、泵、閥等等,基本都有著嚴(yán)苛的參數(shù) 指標(biāo)要求和較高的研發(fā)生產(chǎn)難度,僅在材料選擇上便需要結(jié)合應(yīng)用、環(huán)境條件及 要實現(xiàn)的真空度而考慮諸多因素。且還需要進(jìn)行復(fù)雜而精密的焊接、表面處理、 清潔等工藝,都需要行業(yè)中較長時間的積累。

而具體到真空閥產(chǎn)品來看,優(yōu)異的密封性、精確的流量控制、最小的顆粒產(chǎn)生、 最小的振動和沖擊、穩(wěn)定性和可重復(fù)性等也都是至關(guān)重要的特性,尤其是在半導(dǎo) 體制造這種對于工藝環(huán)境的純度、化學(xué)和物理穩(wěn)定性有極高要求的領(lǐng)域,其要求 會比標(biāo)準(zhǔn)真空閥更高。

據(jù)瑞士 VAT 公司整理,2021 年 VAT 公司占全球半導(dǎo)體真空閥的份額約 75%,假 設(shè) 2022 年其市占率保持穩(wěn)定,結(jié)合公司 2022 年半導(dǎo)體真空閥 7.165 億瑞士法郎 (按 1.05 匯率假設(shè)約為 7.5 億美元),則全球半導(dǎo)體真空閥市場規(guī)模約 10 億美元; 類似地,可測算出全球泛半導(dǎo)體真空閥市場規(guī)模約 12.7 億美元。 真空閥市場格局集中,除了瑞士 VAT 占據(jù)主導(dǎo)地位以外,MKS 公司(美國)、VTEX(日本)、CKD(日本)、SMC(日本)、Ulvac(日本)等廠商也都占據(jù)一定 的市場份額。




1.3、國際龍頭梳理

1.3.1、瑞士 VAT 公司

瑞士 VAT 作為全球真空閥龍頭,2022 年實現(xiàn)收入 11.45 億瑞士法郎,其中閥門產(chǎn) 品收入9.33億瑞士法郎,服務(wù)收入2.13億瑞士法郎。閥門產(chǎn)品收入進(jìn)一步劃分, 則半導(dǎo)體為最大下游應(yīng)用,收入為 7.17 億瑞士法郎,其余則為先進(jìn)工業(yè)、顯示& 太陽能應(yīng)用。

VAT 公司擁有全面的隔離閥、控制閥、傳輸閥、快速關(guān)閉閥等產(chǎn)品組合,可為各 種應(yīng)用領(lǐng)域提供最佳解決方案,其真空閘閥、角閥、蝶閥、擺閥等產(chǎn)品為各領(lǐng)域 的真空閥解決方案設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。公司在隔離閥、控制閥、傳輸閥都有較高的行業(yè) 地位,尤其是控制閥和傳輸閥領(lǐng)域占據(jù)行業(yè)領(lǐng)先份額。

2.1、半導(dǎo)體工藝設(shè)備供氣和氣路系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵元件

除在真空系統(tǒng)中大量應(yīng)用外,閥門同樣是半導(dǎo)體行業(yè)高純流體系統(tǒng)中核心的系統(tǒng) 元件,主要起著流體的開關(guān)截止、流體的流量調(diào)節(jié)、流體的流向改變等三大作用。 在半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備內(nèi)部的氣體管路系統(tǒng)中和半導(dǎo)體工藝設(shè)備的供氣系統(tǒng)中, 均需要大量的高純閥門參與控制。 其中,供氣系統(tǒng)指的是電子氣體由氣源送往工藝設(shè)備端的系統(tǒng),具體來看,電子 氣體先由氣柜(Gas Cabinets)出來經(jīng)過分配,然后通過多功能閥箱/閥盤(Valve Manifold Boxes/Panels)及二次配閥盤(Hookup),通往工藝設(shè)備端,在這個過程 中的幾個主要環(huán)節(jié)基本都需要用到閥門產(chǎn)品。




在這里面,氣柜(Gas Cabinets)為特氣源提供壓力控制和流量監(jiān)測、并具備更 換氣瓶能力,多功能閥箱則是將特氣分配到不同工藝設(shè)備的裝置,均需用到隔膜 閥、單向閥、調(diào)壓閥等閥門。此外,F(xiàn)ab 廠中的大宗氣體系統(tǒng)(Bulk Gas)、二次 配閥盤/盒等也均用到閥門。

而氣體經(jīng)過閥箱/閥盤后,則通過工藝設(shè)備端內(nèi)的氣路系統(tǒng)通入工藝腔內(nèi),然后 參與各種晶圓工藝反應(yīng)。具體來看,半導(dǎo)體工藝設(shè)備內(nèi)部的氣路系統(tǒng)主要由 Gas Box、Gas Box 至反應(yīng)腔的氣路,以及最終進(jìn)入反應(yīng)腔之前的閥門構(gòu)成,這一氣 路系統(tǒng)內(nèi)同樣會用到高純閥門產(chǎn)品。 在這里面,Gas Box 作為半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)的核心組成部分之一,其功能是將各路工 藝氣體集成在一個空間環(huán)境內(nèi),并按工藝需求對不同氣體進(jìn)行傳輸、分配和混合, 對個別關(guān)鍵工藝氣體進(jìn)行精確的流量控制,根據(jù)工藝不同步驟的設(shè)定實現(xiàn)對工藝 氣體進(jìn)行開關(guān)控制等功能。因此,Gas Box 的功能決定了其內(nèi)部集成了閥門,包 括隔膜閥、單向閥等。

具體產(chǎn)品來看,流體系統(tǒng)中常用的閥門主要有: 隔膜閥,是用橡膠、PTFE 等軟質(zhì)材料制成的隔膜作為啟閉件,把閥體內(nèi)腔和閥 蓋內(nèi)腔隔開的閥門,通過操作機(jī)構(gòu)控制隔膜的移動便可以達(dá)到隔絕和調(diào)節(jié)作用。 隔膜閥的優(yōu)點在于,閥蓋、閥桿等零件與介質(zhì)通路隔開,因此零件不會受到介質(zhì) 侵蝕和沖擊,且不會發(fā)生介質(zhì)內(nèi)漏;同時,隔膜閥結(jié)構(gòu)簡單,易于維修和更換; 且隔膜和閥體均可以采用不同材料,能理想控制多種工作介質(zhì),尤其適合帶化學(xué) 腐蝕性或懸浮顆粒的介質(zhì)。




調(diào)壓閥(Regulators)可以把從鋼瓶等來源排出的氣體或液體的壓力降低到設(shè)備 所需的較低值。調(diào)壓閥有一個傳感元件(如活塞或隔膜),一側(cè)承受由彈簧或氣 壓施加的力,另一側(cè)承受流體系統(tǒng)承受的力。 其中,減壓調(diào)壓閥通過轉(zhuǎn)動閥桿/手柄,對可調(diào)彈簧進(jìn)行調(diào)整來設(shè)定所需的出口 壓力;背壓調(diào)壓閥則可設(shè)定所需的進(jìn)口壓力。

單向閥,也稱止回閥,是一種使流體保持恒定方向流動并防止反向流動的閥門。 流體正向流動時,單向閥的閥瓣被流體壓力推開,但反向流動時閥瓣在背壓的作 用下與閥座緊密接觸以防止回流。

波紋管閥,是以波紋管作為閥桿密封元件的閥門,波紋管和閥桿焊在一起,隨閥 桿而帶動閥頭升降,起到啟閉作用。采用波紋管密封結(jié)構(gòu)后,可以將介質(zhì)和大氣 隔離開來,因此有著極佳的密封性,可避免介質(zhì)從閥桿處泄露。 雖然,隨著晶體管的不斷微縮,制造過程中避免受到污染顯得至關(guān)重要,流體系 統(tǒng)元件逐漸從波紋管閥向結(jié)構(gòu)更簡單、活動部件更少、零件與介質(zhì)隔開的隔膜閥 發(fā)展,但波紋管閥憑借絕佳的密封性也仍有用武之地。




2.2、流體系統(tǒng)閥門要求更顯嚴(yán)苛,美國廠商占據(jù)重要地位

流體系統(tǒng)對閥門有著極為嚴(yán)苛的要求,包括潔凈度要求高、材質(zhì)純度要求高、應(yīng) 對腐蝕和快速吹掃無殘留要求高、流體控制精度要求高等。比如,由于半導(dǎo)體工 藝設(shè)備需要大量工藝氣體參與反應(yīng),其中氯化氫、三氯化硼、溴化氫等均具有強 腐蝕性,管路和閥門很容易腐蝕并進(jìn)而導(dǎo)致泄露等情況,因此對材料的選擇和其 表面電化學(xué)的處理都有嚴(yán)格要求。

再比如,Gas Box 作為氣路系統(tǒng)的核心部件之一,內(nèi)部包含各種介質(zhì)的控制氣路, 其內(nèi)工藝氣體的響應(yīng)時間、流量控制對工藝都起到至關(guān)重要的作用,因此內(nèi)部需 要可靠穩(wěn)定的流體系統(tǒng)元件,高純閥門需要滿足體積緊湊、滿足 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的泄 露率和潔凈度要求等,部分應(yīng)用下還需要能耐環(huán)境高溫。且,制程演進(jìn)帶來的變 化是需要使用更多新材料、特殊氣體,對 Gas Box 提出了小型化(尺寸不變情況 下具備更多氣路)、靈活性(氣體管路進(jìn)出口位置有更多選擇)的要求,這其中 也離不開對閥門的更高要求。

再比如,ALD(Atomic Layer Deposition,原子層沉積)作為當(dāng)下及未來制程節(jié) 點微縮及復(fù)雜器件幾何形狀上沉積薄層材料的關(guān)鍵技術(shù),對流體系統(tǒng)元件也提出 了新的挑戰(zhàn)。部分龍頭廠商如 Swagelok 甚至專門推出了 ALD 閥門系列,以應(yīng)對 ALD 對壽命、耐高溫等方面的要求。 且隨著越來越多的 High k 材料的引入,ALD 工藝需要系統(tǒng)更低的壓力,更高的 溫度,未來需要更大的流量(例如閥門 CV 要求普遍在目前流量的 2-3 倍),也會 需要高純特殊合金材料來應(yīng)用于閥體。

細(xì)分市場規(guī)模方面,據(jù) LP information 統(tǒng)計,2022 年全球半導(dǎo)體閥門(含真空閥, 但不含調(diào)壓閥 regulators)市場規(guī)模約 20.9 億美元,其中隔膜閥市場占比較大, 規(guī)模約 5.2 億美元,而如前所述各類真空閥市場規(guī)模約 10 億美元,其余則為單向 閥等產(chǎn)品。若在加上流體系統(tǒng)中應(yīng)用較多的調(diào)壓閥的市場,則全球半導(dǎo)體閥(含 調(diào)壓閥)會比 20.9 億美元要再高出不少。 而在行業(yè)的主要參與者方面,除了 VAT、MKS 等廠商在真空閥市占率較高外, Swagelok(美國)、Fujikin(日本)、Parker Hannifin(美國)等廠商在流體系統(tǒng) 中的隔膜閥、調(diào)壓閥等產(chǎn)品有著較高的市場地位。

2.3、全球龍頭廠商梳理

2.3.1、Swagelok

美國 Swagelok(世偉洛克)公司成立于 1947 年,目前是一家年銷售額約 20 億美 元的私營企業(yè),致力于為油氣、化工、半導(dǎo)體、清潔能源等各個行業(yè)提供流體系 統(tǒng)產(chǎn)品、組裝和服務(wù)。公司提供閥門、調(diào)壓閥、接頭、軟管、卡套管及卡套管附 件、壓力表和其他測量裝置、過濾器、焊接系統(tǒng)、檢漏液、潤滑劑、密封劑、快 速接頭、機(jī)械密封支持系統(tǒng)、取樣系統(tǒng)、分析子系統(tǒng)以及微型模塊化系統(tǒng)等產(chǎn)品。




針對半導(dǎo)體行業(yè),Swagelok可提供閥門、調(diào)壓閥、接頭、軟管和柔性卡套管、過 濾器、焊接系統(tǒng)、彎管器等產(chǎn)品和服務(wù)。尤其是在半導(dǎo)體制造所需的超高純 (UHP)閥門方面,Swagelok具備多種型號的隔膜閥、波紋管密封閥、單向閥、 調(diào)壓閥、ALD 閥等產(chǎn)品,為半導(dǎo)體流體系統(tǒng)提供全面高質(zhì)量的解決方案,是半 導(dǎo)體流體系統(tǒng)閥門的全球領(lǐng)先供應(yīng)商之一。

2.3.2、Fujikin

日本 Fujikin(富士金)公司成立于 1930 年,在以閥門為核心的超精密流體控制 系統(tǒng)方面處于行業(yè)領(lǐng)先地位,涵蓋半導(dǎo)體、太空開發(fā)、氫能利用、制藥和食品、 鋰電池等多個領(lǐng)域。公司截至 2022 年 3 月 31 日的財年收入約為 1707 億日元(約 合人民幣 80+億元)。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域,F(xiàn)ujikin 可提供的產(chǎn)品主要包括: 閥門產(chǎn)品,如隔膜閥、單向閥、波紋管閥等各種閥門;接頭產(chǎn)品;流體系統(tǒng),包 括 IGS(Integrated Gas System,集成氣體系統(tǒng))、FCS(Flow Control System,流 量控制系統(tǒng))等。




3.1、國產(chǎn)設(shè)備廠商成長空間巨大,零部件國產(chǎn)替代正當(dāng)時

存儲廠短期擴(kuò)產(chǎn)部分受限,中長期產(chǎn)能提升空間巨大。美國在 2022 年 10 月公布 了對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步制裁,其中重點新增限制了存儲先進(jìn)制程的制造能 力。長江存儲和長鑫存儲是國內(nèi)在存儲芯片 3D NAND、DRAM 領(lǐng)域各自的代表 廠商,經(jīng)過多年的技術(shù)積累后,長江存儲已經(jīng)實現(xiàn) 232L 3D NAND 工藝的量產(chǎn), 長鑫存儲已經(jīng)實現(xiàn) 19nm DRAM 工藝的量產(chǎn),其中,尤其主要是長江存儲在被限 制后短期擴(kuò)產(chǎn)確實受到一定影響。但國內(nèi)存儲廠商產(chǎn)能在全球占比依然極小,和 國內(nèi)市場需求嚴(yán)重不匹配,中長期來看產(chǎn)能提升空間十分巨大。

邏輯先進(jìn)制程擴(kuò)產(chǎn)受限,成熟制程擴(kuò)產(chǎn)確定性依然較強。中芯國際自 2020 年被 美國加入實體清單后,戰(zhàn)略方向逐漸向成熟制程擴(kuò)產(chǎn)傾斜,本次限制節(jié)點對其并 無進(jìn)一步影響。中芯國際 2021 年以來先后發(fā)布公告將分別在北京、深圳、上海、 天津加大投資進(jìn)行成熟制程擴(kuò)產(chǎn),且 2022 年業(yè)績說明會上重申了擴(kuò)產(chǎn)的意志和 決心,對 2023 年資本開支也給出了和 2022 年高基數(shù)相當(dāng)?shù)闹敢虼祟A(yù)計中芯 國際未來 2-3 年擴(kuò)產(chǎn)節(jié)奏和資本開支依然會較為樂觀。

自主可控持續(xù)推進(jìn),國產(chǎn)化比例有望快速提升。美國不斷加深對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) 的限制,并拉攏日本和荷蘭也跟進(jìn)限制,但從目前限制的實際范圍和力度來看不 必過于悲觀。以尤為關(guān)鍵的光刻機(jī)環(huán)節(jié)為例,據(jù) ASML官網(wǎng)公布,在具體細(xì)則出 臺之前,公司自己將會受到出口管制的“最先進(jìn)工具”定義為 TWINSCAN NXT: 2000i 及之后的浸沒式光刻機(jī),而不被限制的 1980 Di 已經(jīng)可以滿足邏輯成熟制程 和 3D NAND 先進(jìn)制程需求。 而且,限制的不斷加深進(jìn)一步凸顯了自主可控的重要性和緊迫性,國內(nèi)晶圓廠存 儲廠近年在擴(kuò)產(chǎn)過程中正逐漸提升產(chǎn)線中設(shè)備的國產(chǎn)化比例,預(yù)計未來會進(jìn)一步 較快提升。因此,國產(chǎn)設(shè)備廠商國產(chǎn)化空間依然較大,在國產(chǎn)化加速下仍有望保 持較快增長。

2021 年全球千億美元的半導(dǎo)體設(shè)備市場中,中國大陸地區(qū)市場規(guī)模約為 296 億美 元,但其中有較多來自于外資企業(yè)。我們預(yù)計,隨著大陸本土晶圓廠持續(xù)快速擴(kuò) 產(chǎn),以及外資晶圓廠由于各種因素導(dǎo)致在大陸擴(kuò)產(chǎn)投資趨于萎縮,中長期來看大 陸地區(qū)的設(shè)備市場規(guī)模將主要由本土晶圓廠采購形成,且自主可控大勢所趨下設(shè) 備整體國產(chǎn)化率有望達(dá)到顯著較高級別,對應(yīng)設(shè)備國產(chǎn)化空間巨大。




更為重要的是,國內(nèi)設(shè)備廠商在快速成長的同時,也在積極尋求上游供應(yīng)鏈的自 主可控,零部件國產(chǎn)替代浪潮已然掀起。目前半導(dǎo)體零部件供應(yīng)格局以海外廠商 為主,國內(nèi)自給率較低,既因產(chǎn)業(yè)壁壘高、市場碎片化,也因為國內(nèi)下游半導(dǎo)體 設(shè)備產(chǎn)業(yè)不發(fā)達(dá),國內(nèi)零部件廠商缺乏技術(shù)基礎(chǔ)、發(fā)展性價比不高。

3.2、半導(dǎo)體閥門國產(chǎn)替代方興未艾,尤其流體閥門國產(chǎn)化空間極大

當(dāng)前趨勢下美國不斷加大對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的限制,尤其是半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口受到明顯影響,而作為半導(dǎo)體設(shè)備上游的零部件環(huán)節(jié),其供應(yīng)穩(wěn)定性也在逐漸面臨越 來越大的風(fēng)險,因此設(shè)備廠商對于零部件自主可控的緊迫性也愈發(fā)凸顯。 而從當(dāng)前的國產(chǎn)化情況來看,目前國內(nèi)晶圓廠產(chǎn)線中半導(dǎo)體閥門的采購仍較大程 度上依賴于海外廠商。具體來看,真空閥市場主要由瑞士VAT主導(dǎo),流體閥主要 由美國 Swagelok、美國 Parker Hannifin、日本 Fujikin 等廠商主導(dǎo),相對來說流體 閥要求更為嚴(yán)苛、且美廠主導(dǎo)格局下國產(chǎn)替代緊迫性尤為明顯。而國內(nèi)已有廠商 具備良好國產(chǎn)替代基礎(chǔ),如新萊應(yīng)材已在閘閥等多種真空閥產(chǎn)品對國內(nèi)主流客戶 實現(xiàn)國產(chǎn)化供應(yīng),在隔膜閥等氣體閥也已實現(xiàn)銷售突破并迎來快速放量。

3.3、優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)廠商梳理

3.3.1、新萊應(yīng)材

新萊應(yīng)材于 1991 年成立于中國臺灣,于 2000 年總部遷至昆山,2011 年深交所上 市。公司最初主營業(yè)務(wù)為應(yīng)用于食品、生物醫(yī)藥、泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的潔凈應(yīng)用材料 和高純及超高純應(yīng)用材料業(yè)務(wù),其后通過外延并購方式拓展了應(yīng)用于食品飲料領(lǐng) 域的無菌包材及灌裝機(jī)業(yè)務(wù)。

公司業(yè)務(wù)按下游可以劃分為三個主要領(lǐng)域: 泛半導(dǎo)體領(lǐng)域,產(chǎn)品為高純及超高純應(yīng)用材料,主要包括真空系統(tǒng)(高/超高真 空的法蘭、管件、閥、腔體等)和氣體系統(tǒng)(超高純管道管件、閥等); 生物醫(yī)藥領(lǐng)域,產(chǎn)品包含管路系統(tǒng)、無菌閥門、無菌泵、管式換熱器、過濾器等; 食品安全領(lǐng)域,產(chǎn)品分為無菌包材、無菌紙盒灌裝機(jī)、潔凈材料(如管路系統(tǒng)、 衛(wèi)生級閥門、衛(wèi)生級泵)等。




目前公司下游應(yīng)用中食品類占比最高,2022H1高達(dá)50.5%,其中無菌包材和食品 設(shè)備分別占 38.7%和 6.3%,其余產(chǎn)品則主要為潔凈應(yīng)用材料;而醫(yī)藥類(產(chǎn)品主 要為潔凈應(yīng)用材料)占比 23.6%;泛半導(dǎo)體業(yè)務(wù)(產(chǎn)品為高純及超高純應(yīng)用材料) 占比 25.9%。

新萊應(yīng)材在半導(dǎo)體領(lǐng)域的業(yè)務(wù)主要包括真空產(chǎn)品(真空法蘭、管件、閥、腔體等) 和氣體產(chǎn)品(管道管件、接頭、閥等),具體來看: 公司真空系列的品牌名為“AdvanTorr”,產(chǎn)品主要包括高真空和超高真空的法蘭、 管件、鋼瓶、傳輸閥、鋁合金閘閥、閘閥、角閥、腔體、加熱帶、視窗、無氧銅 墊片等。公司產(chǎn)品選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料,可用于半導(dǎo)體、顯示、LED、薄膜太陽 能電池、氫能源、鋰電、科研機(jī)構(gòu)等領(lǐng)域,主要應(yīng)用于薄膜技術(shù)(蒸發(fā)、濺射、PECVD、MOCVD、ALD 等),并覆蓋表面分析技術(shù)和離子注入系統(tǒng)。

而在氣體產(chǎn)品,公司“NanoPure”品牌產(chǎn)品主要包括超高純管道&管件、面密封 接頭(VCR)、微型管道、卡套接頭、減壓閥、超高純隔膜閥、卸荷閥、微粒過 濾器、止回閥、針閥、球閥等,并在積極拓展新產(chǎn)品。

半導(dǎo)體真空系統(tǒng)和氣體系統(tǒng)均是國產(chǎn)化率較低、競爭格局較好的細(xì)分行業(yè),新萊 應(yīng)材作為國內(nèi)在兩個行業(yè)都處于領(lǐng)先地位的優(yōu)質(zhì)廠商,在行業(yè)有著多年的積累和 經(jīng)驗,產(chǎn)品品類齊全,客戶方面更是和 AMAT、Lam Research、北方華創(chuàng)等海內(nèi) 外設(shè)備龍頭以及長江存儲、長鑫存儲等海內(nèi)外知名 fab 廠都有多年的良好合作關(guān) 系。公司在真空閥領(lǐng)域已實現(xiàn)較好的國產(chǎn)替代基礎(chǔ),而對部分氣體閥等產(chǎn)品的供 應(yīng)屬國內(nèi)稀缺,,預(yù)計將是細(xì)分領(lǐng)域國產(chǎn)替代的排頭兵,未來成長空間巨大。 此外,新萊應(yīng)材還積極拓展開發(fā)新產(chǎn)品,在真空系統(tǒng)方面開拓真空泵產(chǎn)品,在氣 體系統(tǒng)方面開發(fā) MFC、過濾器等產(chǎn)品,完善公司業(yè)務(wù)布局,可為下游客戶提供 更為全面完整的服務(wù),有望增強公司競爭力,并進(jìn)一步打開公司成長天花板,成為公司未來新的增長驅(qū)動點。

3.3.2、晶盛機(jī)電

晶盛機(jī)電主營業(yè)務(wù)產(chǎn)品為應(yīng)用于光伏和半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)上游晶體生長及加工 設(shè)備,并基于多年來對硬脆晶體材料生長及加工技術(shù)和工藝的理解,延伸布局至 藍(lán)寶石材料、碳化硅材料以及相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈核心的輔材耗材,如石英坩堝、金剛線、 精密零部件等領(lǐng)域。公司業(yè)務(wù)涉及半導(dǎo)體、光伏設(shè)備領(lǐng)域以及半導(dǎo)體材料細(xì)分領(lǐng) 域的藍(lán)寶石材料和碳化硅材料等。 精密零部件領(lǐng)域,晶盛機(jī)電建立了以半導(dǎo)體閥門、管件、磁流體等精密零部件產(chǎn) 品體系,以配套半導(dǎo)體和光伏設(shè)備所需關(guān)鍵零部件及需求,保障供應(yīng)鏈的穩(wěn)定和 安全。其中在閥門產(chǎn)品方面,晶盛機(jī)電子公司與日本 Primet 合作,于 2022 年 4 月實現(xiàn)首批隔膜閥產(chǎn)品的認(rèn)證通過及量產(chǎn),客戶包括中芯集成、七星流量計、 AMAT、TEL 等。




3.3.3、九天真空

九天真空成立于 2002 年,是國家高新技術(shù)企業(yè),中國真空行業(yè)重點企業(yè)。公司 主要業(yè)務(wù)以真空閥、薄膜規(guī)、真空部件、真空系統(tǒng)集成為主的四大核心業(yè)務(wù),自 主研發(fā)真空系列產(chǎn)品數(shù)千余種,是國內(nèi)產(chǎn)品線齊全的真空技術(shù)企業(yè)。九天真空的 產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研院所、半導(dǎo)體、電子通訊、新材料、新能源、人工智能、生 物醫(yī)療等各國家戰(zhàn)略性支柱行業(yè),累計服務(wù)客戶上萬家。 九天真空承擔(dān)了科技部、工信部、發(fā)改委重大扶持項目 5 個,承擔(dān)國家集成電路 02 重大專項 3 個,其中包括“高真空變通導(dǎo)擺動插板閥”等項目。在真空閥產(chǎn)品方面,九天真空可提供插板閥(閘閥)、翻板閥(蝶閥)、調(diào)節(jié)閥、擋板閥(角 閥)、充氣閥等產(chǎn)品。

(本文僅供參考,不代表我們的任何投資建議。如需使用相關(guān)信息,請參閱報告原文。)

精選報告來源:【未來智庫】。




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