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行業(yè)新聞

福州宇宙中沒(méi)有任何一處地方會(huì)是完全的真空!

發(fā)布時(shí)間:2023-12-19 16:56:05 點(diǎn)擊次數(shù):11303 次


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我們有的儀器是需要真空的,也就不到1個(gè)立方米,抽到10的負(fù)7要2天時(shí)間

抽真空使用的是泵,泵和密閉的地方是有連接的通道的,這個(gè)地方?jīng)]法密閉。要知道大氣壓是很強(qiáng)大的,總是有外界的空氣要進(jìn)真空的部位。


所以泵不停的抽,一停,空氣就進(jìn)去了。我不知道抽完真空后,你如何密封,目前的密封手段再快能快過(guò)空氣流通?


普通水泵抽到10的負(fù)2,反正以我的力氣就拔不動(dòng)了,通道一開(kāi)就能聽(tīng)見(jiàn)氣體流動(dòng)的響聲,很尖銳,象刮風(fēng)


這個(gè)問(wèn)題可以說(shuō)明題主缺乏真空的基本知識(shí)和基本概念。最近雙十一,一門(mén)心思地寫(xiě)好物推薦啥的,也不太好意思,正好借這個(gè)問(wèn)題寫(xiě)點(diǎn)真空知識(shí)。盼 @知乎科學(xué) 斧正。


可以看出題主缺乏“極限真空”的概念,并且不明白,真空需要維持。


一個(gè)真空系統(tǒng),它的氣壓不會(huì)隨著抽氣無(wú)限下降,它最終會(huì)達(dá)到一個(gè)平衡,即極限真空。此時(shí)真空系統(tǒng)的漏率(即從系統(tǒng)外漏進(jìn)來(lái)的)、系統(tǒng)的內(nèi)表面放氣(系統(tǒng)內(nèi)表面吸附的分子)和泵組的抽速達(dá)到平衡,氣壓基本保持穩(wěn)定。而這個(gè)真空是需要使用泵組維持的,此時(shí)如果關(guān)閉泵組,由于漏氣和放氣,真空度會(huì)變差。


為后文敘述方便,此處先就常見(jiàn)氣壓?jiǎn)挝蛔鰝€(gè)簡(jiǎn)介。氣壓的國(guó)際單位是帕斯卡,即Pa,1 Pa = 1 N·m^-2;一個(gè)大氣壓,即1 atm = 1*10^5 Pa;而真空領(lǐng)域更喜歡使用的單位是Torr和mBar。Torr即托里拆利(發(fā)明水銀氣壓計(jì)的科學(xué)家),它是mmHg柱的同義詞。mBar即毫巴(源自希臘語(yǔ)),1 Bar = 1 atm。所以 1 mBar = 100 Pa;1 Torr = 1.36 mBar。但由于討論真空時(shí),一般關(guān)注到數(shù)量級(jí)即可,mBar和Torr經(jīng)?;煊?,兩者也是真空領(lǐng)域最常用的氣壓?jiǎn)挝弧?/span>


一般來(lái)說(shuō),按照氣壓不同,真空可以分為五個(gè)等級(jí),粗真空(大氣壓~1 mBar)、中度真空(1~10^-3 mBar)、高真空(HV,10^-3~10^-7 mBar)、福州超高真空(UHV,10^-7~10^-12 mBar);更特殊的還有極高真空(一般定義為< 10^-12 mBar)。


下面從泵的角度出發(fā),從低到高敘述各級(jí)真空。

機(jī)械泵是最常見(jiàn)的真空泵,它的種類(lèi)紛繁復(fù)雜,但歸根結(jié)底,都是通過(guò)機(jī)械壓縮空氣,將空氣從真空系統(tǒng)中抽出。常見(jiàn)的機(jī)械泵通過(guò)轉(zhuǎn)子和定子的相對(duì)運(yùn)動(dòng)工作;比較特殊的羅茨泵使用雙轉(zhuǎn)子模式。


機(jī)械泵的極限真空的限制因素一般是系統(tǒng)內(nèi)的死空間和密封油的壓力。前者可以通過(guò)提高加工精度減少,但不可消除;后者可以通過(guò)使用無(wú)油機(jī)械泵(即干泵)來(lái)消除。通過(guò)多級(jí)機(jī)械泵聯(lián)用,也可以適當(dāng)提供極限真空。


一般來(lái)說(shuō),機(jī)械泵可以達(dá)到粗真空和中度真空。這也是日常生產(chǎn)中最常見(jiàn)的真空量級(jí),視頻的真空包裝、不嚴(yán)格的真空鍍膜等,一般都在這個(gè)量級(jí)。

要獲取更高的真空就需要使用分子泵渦輪分子泵是目前常見(jiàn)的分子泵。分子泵的工作原理是,高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片配合,給氣體分子一個(gè)額外的速度,將其打出真空系統(tǒng),從而被抽除。


使用分子泵需要特別注意,大量分子沖擊葉片會(huì)對(duì)分子泵葉片造成損害。因此分子泵需要連接前級(jí)機(jī)械泵,只有在中度真空建立的條件下才能使用分子泵進(jìn)行抽氣。另外,抽氣過(guò)程中,要特別注意不能引入強(qiáng)負(fù)載(即腔體內(nèi)進(jìn)入大量氣體),否則有字面意義上的“泵毀人忘”的危險(xiǎn)。(目前分子泵一般有耐沖擊設(shè)計(jì)和停機(jī)保護(hù),但低端分子泵確實(shí)存在葉片損壞,擊穿泵體,飛出傷人的危險(xiǎn)。)


使用分子泵一般可以抽到10^-8 mBar量級(jí)。此時(shí)腔體內(nèi)壁的放氣以成為限制真空度進(jìn)一步降低的重要因素。我們一般會(huì)通過(guò)烘烤進(jìn)一步提高真空度,即通過(guò)加熱整個(gè)福州真空腔體,使內(nèi)表面吸附的分子大量脫附,并被抽除。經(jīng)過(guò)烘烤的系統(tǒng),降溫后,使用分子泵一般能抽到10^-9 mBar量級(jí)。


分子泵對(duì)輕氣體的抽速一般較低,且會(huì)引入振動(dòng),也是實(shí)際使用中要注意的問(wèn)題。


在高真空環(huán)境下,一般可以完成氣相分子束實(shí)驗(yàn),也可以完成絕大部分半導(dǎo)體、高端制藥等行業(yè)的生產(chǎn)。


要進(jìn)入福州超高真空領(lǐng)域,就需要進(jìn)一步使用離子泵或者吸附泵


嚴(yán)格地講,離子泵也是一種吸附泵。它通過(guò)高壓放電,將空氣電離,然后電離的空氣會(huì)經(jīng)過(guò)電場(chǎng)、磁場(chǎng)作用吸附在由金屬鈦構(gòu)成的陰極板上。


傳統(tǒng)的離子泵對(duì)稀有氣體的抽速相當(dāng)有限(或者說(shuō)幾乎沒(méi)有),因此在使用離子泵維持真空時(shí),一定要注意千萬(wàn)不要引入稀有氣體負(fù)載。目前,增加對(duì)稀有氣體的抽速是離子泵的主要研發(fā)方向。


離子泵是獲取和維持福州超高真空的最常用手段。但它也有自己的局限性,離子泵會(huì)引入磁場(chǎng),對(duì)磁場(chǎng)有嚴(yán)格要求的環(huán)境,離子泵就不大合適了。這時(shí)候一般會(huì)使用吸附泵。吸附泵一般分為兩種,一種活潑金屬來(lái)吸附腔內(nèi)的空氣分子;另一種則是低溫泵,通過(guò)使用液氦或壓縮機(jī)制冷,使用冷屏吸附腔體內(nèi)分子,提高真空度。


注意,此處不是指直接使用離子泵或吸附泵來(lái)建立福州超高真空。福州超高真空環(huán)境需要在烘烤條件下使用機(jī)械泵、分子泵、離子泵(吸附泵)逐步抽氣建立,并最后使用離子泵(吸附泵)維持。

福州超高真空一般用于表面科學(xué)研究。首先福州超高真空有利于保持樣品表面的清潔。其次福州超高真空環(huán)境保證了電子的長(zhǎng)自由程,這是電子能譜技術(shù)要求的。


真空系統(tǒng)還涉及到密封材料和方式的選擇,選擇合適的真空規(guī)進(jìn)行測(cè)量,殘余氣體分析,撿漏等問(wèn)題。無(wú)聊的時(shí)候我可能再寫(xiě)點(diǎn)。也可以直接閱讀真空教材。

下面這本書(shū)是真的全面而詳細(xì),絕大部分需要的知識(shí)都可以查閱到。


就是不知道為啥不再版,網(wǎng)上賣(mài)的都是稀有貨,價(jià)格有點(diǎn)高。

有講的不對(duì)的地方,也歡迎專(zhuān)業(yè)的朋友斧正,也歡迎聯(lián)系。


絕對(duì)真空應(yīng)該是指不包含任何物質(zhì)的空間。


前邊有大咖回答了各種真空水平下的真空技術(shù)。


這里提供另一種視角(非通常情況下的物質(zhì)):場(chǎng),能量,量子漲落。

所以,絕對(duì)真空應(yīng)該很難達(dá)到,目前來(lái)看,不可能。


之前寫(xiě)過(guò)一點(diǎn)關(guān)于真空不空的文章,題主可以參考一下


真空不空量子漲落

http://scjywyx.cn

各種條件下的真空

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