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真空系統(tǒng)的核心是海南真空腔體，它是針對具體應(yīng)用量身定做的。它包括應(yīng)用并將其可靠地與外部分離或防止環(huán)境受內(nèi)部流程影響。不論是并非需要高真空環(huán)境的干燥過程，或者是需要在中或高真空環(huán)境下進行的等離子體過程，以及需要在高真空環(huán)境下進行的表面研究：它們的海南真空腔體都同樣必須始終承受與大氣的機械壓力差。

歐盟標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定真空容器不受任何基于設(shè)計和計算的具體準(zhǔn)則的限制。它們不是壓力設(shè)備（壓力設(shè)備指令 97/23/EC 適用于具有內(nèi)部壓力大于 500 hPa 的部件），而且根據(jù)機械指令 2006/42/EC 它們也不屬于機器。然而，它們必須以安全可靠的方式進行設(shè)計、計算和生產(chǎn)，并在交付前進行測試。

圓柱管、球體、平板或模具配件的壁厚的計算，如盤形端蓋，可使用 AD-2000 手冊進行。AD 2000 規(guī)定實際上是“壓力容器工作委員會”設(shè)計制定的，用于對壓力容器的計算，但也描述 “外部過壓”的負載條件。在這里，您將發(fā)現(xiàn)，例如， 計算所需壁厚的方程包括圓柱管的“彈性屈曲”或“塑性變形” 等。

由于矩形腔室或類似設(shè)計，必須檢查表面偏轉(zhuǎn)和出現(xiàn)的張力。如果它們過高，必須增加壁厚或?qū)υ搮^(qū)進行局部加固，如通過額外的焊接肋板。為此，可以使用采用有限元法 (FEM) 執(zhí)行機械計算的程序來優(yōu)化腔室設(shè)計。除允許的機械應(yīng)力外，也有必要檢查在 “外部大氣、內(nèi)部真空”的負載條件下，密封面是否互相保持平整。如果密封面歪曲，可能發(fā)生泄漏，阻礙腔室的使用。

具有冷卻剖面和水冷法蘭的 EUV 光源室

腔室的基本形狀通常由應(yīng)用決定。對于腔體，如可能，應(yīng)該選擇圓柱管，它有利于物料的投放和系統(tǒng)的穩(wěn)定性。對于較小的公稱通徑，管端可采用平底封閉；較大直徑應(yīng)該通過盤形端蓋來密封，以限制材料用量和腔室的重量。示例：直徑為 600 mm 的腔室需要平底，大約是盤形底壁厚的三倍。具有端蓋的主法蘭允許進入腔室，門鉸鏈的使用提高了易用性。外部的腔室支腳確保了穩(wěn)定性，吊環(huán)螺釘或起重卸扣可實現(xiàn)安全運輸。

如果腔室要進行回火或內(nèi)部熱源導(dǎo)致腔室蓋過熱，必須提供腔室冷卻系統(tǒng)。這可通過焊接冷卻剖面或大面積墊板冷卻 （圖 3.18）或甚至作為雙層容器來實現(xiàn)。

具有墊板冷卻的空間模擬室

通常情況下，根據(jù)實驗或過程，在用戶和設(shè)計師之間的交流中設(shè)計腔室。單獨定制腔室的另一選擇是標(biāo)準(zhǔn)的真空室。這些是預(yù)配置的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)，可通過自由可選的端口予以補充。 與完全定制的真空室相比，它們更加快速、實惠。