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真空腔體的主要功能是什么?有哪些類型?

發(fā)布時(shí)間:2023-12-11 09:44:35 點(diǎn)擊次數(shù):11480 次

真空腔體的主要功能是維持并控制真空環(huán)境。

真空腔體可以創(chuàng)造并維持一個(gè)特定且受控的真空環(huán)境,這樣可以在其中進(jìn)行各種需要低氣壓或真空條件下的工藝或?qū)嶒?yàn)。

例如金屬冶煉、真空鍍膜、真空爐等。

真空腔體主要有以下幾種類型

一、實(shí)驗(yàn)室用真空腔體:這種真空腔體通常用于實(shí)驗(yàn)室中的各種實(shí)驗(yàn),如材料科學(xué)、物理、化學(xué)等。其特點(diǎn)是體積較小,結(jié)構(gòu)緊湊,易于操作和維護(hù)。

二、工業(yè)生產(chǎn)用真空腔體:這種真空腔體主要用于工業(yè)生產(chǎn)過程中,如半導(dǎo)體制造、太陽能電池制造等。其特點(diǎn)是體積較大,結(jié)構(gòu)牢固,能夠承受較大的壓力和溫度變化。

三、簡單真空腔體:這種真空腔體結(jié)構(gòu)簡單,主要由一個(gè)密閉的金屬腔體組成,能夠維持一定的真空度。

四、復(fù)雜真空腔體:這種真空腔體結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜,通常由多個(gè)腔體組成,具有較高的精度和穩(wěn)定性,能夠滿足特定工藝或?qū)嶒?yàn)的需求。

五、接觸式密封真空腔體:這種真空腔體采用接觸式密封方式,能夠有效地隔絕外部環(huán)境,保持內(nèi)部的真空狀態(tài)。

六、非接觸式密封真空腔體:這種真空腔體采用非接觸式密封方式,如磁性密封、機(jī)械密封等,能夠?qū)崿F(xiàn)較好的密封效果。

以上是常見的真空腔體類型,根據(jù)不同的應(yīng)用需求和工藝要求,可以選擇適合的真空腔體類型


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