真空腔體可以創(chuàng)造并維持一個(gè)特定且受控的真空環(huán)境,這樣可以在其中進(jìn)行各種需要低氣壓或真空條件下的工藝或?qū)嶒?yàn)。
例如金屬冶煉、真空鍍膜、真空爐等。
真空腔體主要有以下幾種類型
一、實(shí)驗(yàn)室用真空腔體:這種真空腔體通常用于實(shí)驗(yàn)室中的各種實(shí)驗(yàn),如材料科學(xué)、物理、化學(xué)等。其特點(diǎn)是體積較小,結(jié)構(gòu)緊湊,易于操作和維護(hù)。
二、工業(yè)生產(chǎn)用真空腔體:這種真空腔體主要用于工業(yè)生產(chǎn)過程中,如半導(dǎo)體制造、太陽能電池制造等。其特點(diǎn)是體積較大,結(jié)構(gòu)牢固,能夠承受較大的壓力和溫度變化。
三、簡單真空腔體:這種真空腔體結(jié)構(gòu)簡單,主要由一個(gè)密閉的金屬腔體組成,能夠維持一定的真空度。
四、復(fù)雜真空腔體:這種真空腔體結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜,通常由多個(gè)腔體組成,具有較高的精度和穩(wěn)定性,能夠滿足特定工藝或?qū)嶒?yàn)的需求。
五、接觸式密封真空腔體:這種真空腔體采用接觸式密封方式,能夠有效地隔絕外部環(huán)境,保持內(nèi)部的真空狀態(tài)。
六、非接觸式密封真空腔體:這種真空腔體采用非接觸式密封方式,如磁性密封、機(jī)械密封等,能夠?qū)崿F(xiàn)較好的密封效果。