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真空系統(tǒng)的核心是真空腔體，它是針對(duì)具體應(yīng)用量身定做的。它包括應(yīng)用并將其可靠地與外部分離或防止環(huán)境受內(nèi)部流程影響。不論是并非需要高真空環(huán)境的干燥過(guò)程，或者是需要在中或高真空環(huán)境下進(jìn)行的等離子體過(guò)程，以及需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行的表面研究：它們的真空腔體都同樣必須始終承受與大氣的機(jī)械壓力差。

歐盟標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定真空容器不受任何基于設(shè)計(jì)和計(jì)算的具體準(zhǔn)則的限制。它們不是壓力設(shè)備（壓力設(shè)備指令 97/23/EC 適用于具有內(nèi)部壓力大于 500 hPa 的部件），而且根據(jù)機(jī)械指令 2006/42/EC 它們也不屬于機(jī)器。然而，它們必須以安全可靠的方式進(jìn)行設(shè)計(jì)、計(jì)算和生產(chǎn)，并在交付前進(jìn)行測(cè)試。

圓柱管、球體、平板或模具配件的壁厚的計(jì)算，如盤(pán)形端蓋，可使用 AD-2000 手冊(cè)進(jìn)行。AD 2000 規(guī)定實(shí)際上是“壓力容器工作委員會(huì)”設(shè)計(jì)制定的，用于對(duì)壓力容器的計(jì)算，但也描述 “外部過(guò)壓”的負(fù)載條件。在這里，您將發(fā)現(xiàn)，例如， 計(jì)算所需壁厚的方程包括圓柱管的“彈性屈曲”或“塑性變形” 等。

由于矩形腔室或類(lèi)似設(shè)計(jì)，必須檢查表面偏轉(zhuǎn)和出現(xiàn)的張力。如果它們過(guò)高，必須增加壁厚或?qū)υ搮^(qū)進(jìn)行局部加固，如通過(guò)額外的焊接肋板。為此，可以使用采用有限元法 (FEM) 執(zhí)行機(jī)械計(jì)算的程序來(lái)優(yōu)化腔室設(shè)計(jì)。除允許的機(jī)械應(yīng)力外，也有必要檢查在 “外部大氣、內(nèi)部真空”的負(fù)載條件下，密封面是否互相保持平整。如果密封面歪曲，可能發(fā)生泄漏，阻礙腔室的使用。

具有冷卻剖面和水冷法蘭的 EUV 光源室

腔室的基本形狀通常由應(yīng)用決定。對(duì)于腔體，如可能，應(yīng)該選擇圓柱管，它有利于物料的投放和系統(tǒng)的穩(wěn)定性。對(duì)于較小的公稱(chēng)通徑，管端可采用平底封閉；較大直徑應(yīng)該通過(guò)盤(pán)形端蓋來(lái)密封，以限制材料用量和腔室的重量。示例：直徑為 600 mm 的腔室需要平底，大約是盤(pán)形底壁厚的三倍。具有端蓋的主法蘭允許進(jìn)入腔室，門(mén)鉸鏈的使用提高了易用性。外部的腔室支腳確保了穩(wěn)定性，吊環(huán)螺釘或起重卸扣可實(shí)現(xiàn)安全運(yùn)輸。

如果腔室要進(jìn)行回火或內(nèi)部熱源導(dǎo)致腔室蓋過(guò)熱，必須提供腔室冷卻系統(tǒng)。這可通過(guò)焊接冷卻剖面或大面積墊板冷卻 （圖 3.18）或甚至作為雙層容器來(lái)實(shí)現(xiàn)。

具有墊板冷卻的空間模擬室

通常情況下，根據(jù)實(shí)驗(yàn)或過(guò)程，在用戶(hù)和設(shè)計(jì)師之間的交流中設(shè)計(jì)腔室。單獨(dú)定制腔室的另一選擇是標(biāo)準(zhǔn)的真空室。這些是預(yù)配置的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)，可通過(guò)自由可選的端口予以補(bǔ)充。 與完全定制的真空室相比，它們更加快速、實(shí)惠。