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腔體材質(zhì)

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內(nèi)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG     鋁合金材質(zhì) 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

腔體抽氣口

KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）

腔體真空測量口

KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）

腔體進(jìn)氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材質(zhì)

不銹鋼  

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400℃

室溫到350℃   室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺升溫速率

高溫100℃/min  值    低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1℃